Cet article présente les potentialités de films d'AlN
piézoélectriques comme éléments actionneurs pour les MEMS.
Le cas de micropoutres constituées d'un empilement de différents
films (électrode/AlN/électrode/substrat Si) est présenté. Un
dispositif interférométrique de type Twyman-Green permet de
quantifier précisément les déformées et les déplacements
ce qui permet de calculer, à l'aide des équations non
simplifiées, différentes grandeurs physiques des films d'AlN, par
exemple le module d'Young lié à l'orientation (002) des
cristallites, les contraintes résiduelles consécutives au mode
d'élaboration, le coefficient de dilatation α ainsi que le
coefficient piézoélectrique d31. On retrouve sensiblement les
valeurs du matériau massif.