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Microbolomètres YBaCuO suspendus sur substrats de Si ou SIMOX micro-usinés*

Published online by Cambridge University Press:  15 January 1998

L. Méchin*
Affiliation:
DRFMC / SPSMS / LCP - CEA Grenoble, 38054 Grenoble Cedex 9, France
D. Bloyet
Affiliation:
GREYC (UPRES A 6072) - ISMRA, 6 Bd Mal Juin, 14050 Caen Cedex, France
J.-C. Villégier
Affiliation:
DRFMC / SPSMS / LCP - CEA Grenoble, 38054 Grenoble Cedex 9, France
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Abstract

Résumé. L'amélioration des performances d'un bolomètre est obtenue en isolant thermiquement sa partie sensible. Les résultats que nous avons mesurés dans le domaine de longueur d'onde 3-5 µm sur une membrane suspendue à base de couches minces d'YBaCuO, de dimensions optimisées et sans couche absorbante, sont au niveau des meilleurs publiés. Cependant, pour satisfaire aux besoins des observations spatiales, ces microbolomètres devront être recouverts d'un matériau absorbant adapté pour fonctionner aux longueurs d'onde supérieures à 20 µm. Afin de compenser l'augmentation de capacité calorifique apportée par la couche absorbante, et donc l'accroissement indésirable du temps de réponse, nous proposons d'ajouter simultanément à la membrane une couche de conductivité thermique plus élevée.

Keywords

Type
Research Article
Copyright
© EDP Sciences, 1998

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Footnotes

*

Le contenu de cet article a été présenté aux 4es journées d'Étude SEE "Matériaux Supraconducteurs à haute Tc" de Caen, le 26 et 27 mars 1997.

References

* Le contenu de cet article a été présenté aux 4es journées d'Étude SEE "Matériaux Supraconducteurs à haute T c" de Caen, le 26 et 27 mars 1997.